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六氟化鎢傳感器
產品簡介
六氟化鎢傳感器是由四方光電自主研發的高性能氣體傳感器，產品基于非分光紅外技術(NDIR)，能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體，兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節約成本,提高產量。
- 產品型號：
- 更新時間：2025-08-18
- 廠商性質：生產廠家
- 訪問量：1140
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六氟化鎢傳感器傳感器是由四方光電自主研發的高性能氣體傳感器，產品基于非分光紅外技術(NDIR)，能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體，兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議，適合半導體行業化學沉積設備、原子層沉積設備腔室的清潔終點監測。
六氟化鎢傳感器傳感器產品特性
使用NDIR技術，多氣體監測支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
響應時間快，高靈敏度
無耗材
模擬/數字通信
模塊化設計，便于集成
六氟化鎢傳感器傳感器技術參數
| 檢測原理 | NDIR |
| 檢測氣體 | SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重復性 | ±0.5% |
| 線性 | ±1%F.S. |
| 檢測限 | 1ppm |
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